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1. 把關(guān)鍵的潔凈（加工）區(qū)盡量減少并與潔凈走道、潔凈維護(hù)及修理區(qū)等相隔，避免或減少人員、工藝及工藝設(shè)備散發(fā)的粒子的污染及交叉污染，以利用達(dá)到嚴(yán)格的控制潔凈度要求并減少電耗及費(fèi)用。

2. 工藝與工藝設(shè)備的開(kāi)發(fā)已需密切與潔凈技術(shù)相結(jié)合，如減少工藝本身及工藝設(shè)備散發(fā)的粒子，采用機(jī)器人傳送片盒或SMIF系統(tǒng)等傳送片盒避免人與硅片的直接接觸等。

3. 基于以上二點(diǎn)，集成電路亞微米加工，現(xiàn)有典型的無(wú)塵車(chē)間形式基本由二類(lèi)：

① 隧道式無(wú)塵車(chē)間。無(wú)塵車(chē)間分隔成潔凈加工隧道（區(qū)），潔凈走道及潔凈維護(hù)修理隧道（區(qū)）。加工區(qū)的潔凈度要求最嚴(yán)，其他區(qū)及走道潔凈度要求可低一些。目前國(guó)內(nèi)已有可作集成電路亞微米加工的無(wú)塵車(chē)間都是這種形式。

② “微環(huán)境”系統(tǒng)無(wú)塵車(chē)間，這種無(wú)塵車(chē)間內(nèi)片盒的傳送采用SMIF系統(tǒng)（或類(lèi)似的系統(tǒng)），它包括：存放片盒的潔凈容器（SMIF POD）;能自動(dòng)接受潔凈容器（SMIF POD）并打開(kāi)容器把片盒送入（送出）設(shè)備的加工部位的機(jī)械手裝置（SMIFARM）.把SMIF ARM及加工部位以適用的材料封閉起來(lái)與無(wú)塵車(chē)間環(huán)境隔離，在這較小的空間送入嚴(yán)格要求的潔凈空氣，而無(wú)塵車(chē)間的潔凈度可為100~1000級(jí)（FS-209D），即≥0.5μm的粒子不多于100~1000個(gè)/ft3。由于硅片避免或減少了受操作人員、工藝設(shè)備及工藝加工散發(fā)的粒子的直接污染或交叉污染，而“微環(huán)境”加工區(qū)空間又很小，從而能較有效的控制硅片受粒子的污染，并降低無(wú)塵車(chē)間造價(jià)及運(yùn)行費(fèi)用，操作人員亦可在不十分嚴(yán)格的潔凈環(huán)境內(nèi)工作。

以上即是譽(yù)茂關(guān)于集成電路無(wú)塵車(chē)間建設(shè)的介紹，希望對(duì)您有所幫助。上海譽(yù)茂凈化科技有限公司提供潔凈室/實(shí)驗(yàn)室從設(shè)計(jì)——施工安裝——檢測(cè)驗(yàn)收——運(yùn)行維護(hù)全方位總包服務(wù)，集建筑裝飾、工藝系統(tǒng)、機(jī)電安裝、信息智能化、環(huán)保工程、實(shí)驗(yàn)家具于一體。公司主要負(fù)責(zé)的裝修設(shè)計(jì)總包業(yè)務(wù)有：分子診斷實(shí)驗(yàn)室、動(dòng)物房、生物安全實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)藥研發(fā)中心、質(zhì)控中心QC實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)藥GMP廠房、第三方醫(yī)學(xué)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)院醫(yī)療手術(shù)室、負(fù)壓病房、集成電路（ICD）設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室、芯片研發(fā)基地、芯片生產(chǎn)工廠、電子潔凈廠房、恒溫恒濕間、防靜電車(chē)間、食品無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室、質(zhì)檢質(zhì)控機(jī)構(gòu)、食品分析實(shí)驗(yàn)室、高級(jí)研發(fā)中心、潔凈生產(chǎn)車(chē)間、灌裝與物流車(chē)間等。