(一)潔凈室之定義
潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室?！笣崈羰摇故侵笇⒁欢臻g范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有
害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及
照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其
室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好
之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。 世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)
邦標(biāo)準(zhǔn) 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
209E 與 209D 等最大之不同在于 209E 表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如 M1、
M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M 字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺
中>=0.5μm 之微塵粒子數(shù)目字以 10 的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方
之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) FS 209D 都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm
微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以 Class 1，Class 2，Class 3……Class8 表示，最好的等級為 Class 1，
最差則為 Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為 10 的冪次方，取其指數(shù)而得。
(三)潔凈室控管之項(xiàng)目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調(diào)節(jié)。
5. 有害氣體之排除。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁干擾預(yù)防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量。
(四)潔凈室之分類
1.亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回
風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級 1,000-100,000 級。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提
高潔凈室等級。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲
達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。
2.層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率 100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔
墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為 Class 1~100。其型式可
分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一
般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以 ULPA 過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或
工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3.復(fù)合式(Mixed Type)：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以 HEPA 或 ULPA 過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域 100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧?br /> 高至 10 級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI
制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至 100 級以上。
因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動
化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級 10,000~100,000 之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等
級提高為 10~1000 級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
潔凈工作臺：等級 Class 1~100 級。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之 HEPA 或 ULPA
及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為 10~1000 級，高度在 2.5 米左右，覆蓋面積約 10m2
以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。
(五)潔凈室氣流之流動
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散
受到氣流的支配。
潔凈室系利用 HEPA、ULPA 過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá) 99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過
濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即
無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選 0.25~0.5m/s 之間，此氣流速
度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、
但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，
以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示
風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速
不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而 0.5m/s 之速度，氣流則
較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在 0.25~0.5m/s 之間。
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣
流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距 2/3 之處，如此可使作業(yè)人
員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)?br /> 氣流分流，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因
而將受到污染，良率也勢必降低。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作
桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否
成為渦流現(xiàn)象之重要因素。(六)潔凈室之構(gòu)成
潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且
品質(zhì)良好的潔凈室：
(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam 或 U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid 或
Ceilingframe)。
(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；
潔凈室按用途分類（可分為兩大類）
（1）、工業(yè)潔凈室——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般
保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、
原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多
行業(yè)。
（2）、生物潔凈室，主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為； A、一
般生物潔凈室，主要控制微生物（細(xì)菌）對象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一
般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無
菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
B、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。
例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）
亂流潔凈室的原理和特性
1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室.
2、原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流潔凈室一
般設(shè)計(jì)在千級以上至 30 萬級凈化級別）。
3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越
多，凈化級別越高）
（1）、自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級別的
時(shí)間。 1,000 級希望不超過 20min(分鐘) (可取 15min 計(jì)算) 10,000 級希望不超過 30min(分鐘) (可取 25min
計(jì)算) 100,000 級希望不超過 40min(分鐘) (可取 30min 計(jì)算)
（2）、換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000 級 43.5—55.3 次/小時(shí) (規(guī)范:50 次/小時(shí)) 10,000
級 23.8—28.6 次/小時(shí) (規(guī)范:25 次/小時(shí)) 100,000 級 14.4—19.2 次/小時(shí) (規(guī)范:15 次/小時(shí))
六、潔凈室（凈化空調(diào)）的結(jié)構(gòu)組成
（1）、組合式凈化空調(diào)機(jī)組
（2）、潔凈送風(fēng)管道
（3）、潔凈回風(fēng)管道
（4）、送風(fēng)靜壓箱
（5）、高效過濾器
（6）、多孔擴(kuò)散板
（7）、潔凈室吊頂
（8）、潔凈室隔斷
（9）、百葉回風(fēng)口
（10）、新風(fēng)口
污染源知識
1、發(fā)塵量
潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)
塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很
少，一般占 10%以下，發(fā)塵主要來自人，占 90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)
塵絕對量也不斷減少。
A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少；
C、活動：動作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間 3-7 倍；
D、清洗：用容劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng) 8 平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)
塵量相當(dāng)。
2、發(fā)菌量
分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為：
（１） 潔凈室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時(shí)：
靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為 10-300 個(gè)/min.人
軀體一般活動時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000 個(gè)/min.人
快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500 個(gè)/min.人
（２） 咳嗽一次一般為 70~700 個(gè)/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000 個(gè)/ min.人
（３） 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000 個(gè)/ min.人
（４） 無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14
（５） 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：
（６） 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878 個(gè)/ min.人
所以，可知潔凈室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過 300 個(gè)/ min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過 1000 個(gè)
/ min/人，以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的。